小型动压气浮轴承-光波超精密技术好-顺义区动压气浮轴承

光波超精密——动压气浮轴承

空气主轴精i确的、可重复的运动，使得表明光度达到了非常出色的程度。

空气主轴的应用(如:半导体加工)提供了流畅的、精i确的、可重复的运动——使得表面光度更佳。与滚珠轴承主轴不同，空气轴承提供了稳定的轴承硬度，能够确保所加工的硬质材料表面以下部分的破损程度zui小。由于硬度是由贯穿轴承的、始终如一的空气流提供的，转子所经受的、来自外负载的作用力，在其旋转时稳定的分布在所有点上。这一特性与研磨时产生良好的表面光度息息相关。

光波超精密气浮飞刀——动压气浮轴承

典型的表面光度:

表面研磨———<≥

菱形转动、或者飞刀切削丙i烯酸树脂和软性材料———<>

空气轴承硬度值:

——轴向:达到250牛顿/微米(1，钻石刀具动压气浮轴承，400，000磅/英寸)

——径向:达到580牛顿/微米(3，300，000磅/英寸)

空气主轴精i确的、可重复的运动，使得表明光度达到了非常出色的程度。

C滚动元件轴承和空气轴承的硬度比较

光波超精密——动压气浮轴承

气体静压气浮垫及气浮导轨，所述气浮垫包括：壳体、固定在壳体内的支撑块、固定在支撑块下端面上的多孔质材料层，所述支撑块内开设有进气通道、和与所述进气通道相贯通的节流通道，所述节流通道上i等间距安装有若干个延伸至支撑块下端面的小孔节流器，所述支撑块的下端面上开设有凹槽以使所述支撑块与多孔质材料层的上表面之间形成气腔，所述多孔质材料层的下表面上还开设有均压槽。通过上述方式，顺义区动压气浮轴承，本发明采用小孔节流、多孔质材料节流、均压槽表面节流相组合的节流方式，能够使气浮垫达到国际上微孔节流型气浮垫的性能指标，并且本发明气浮垫结构简单，制造成本低；同时本发明气浮垫可以应用在导轨平台上，制成气浮导轨。

光波超精密气浮飞刀——动压气浮轴承

什么是空气轴承?

空气轴承也可以称之为气浮轴承，指的是以空气(也可以是其他气体)作润滑剂的滑动轴承。zui常用的气体润滑剂为空气，根据需要也可用氮、氢、氦或二氧化碳等。在气体压缩机、膨胀机和循环器中，常以工作介质作为润滑剂。

空气轴承的结构组成是什么?

空气轴承的结构:由轴承内圈和外圈，外圈上有空气的进出口孔，内圈上有喷嘴。

光波超精密——动压气浮轴承

空气轴承的优点空气轴承提供极高的径向和轴向旋转精度。由于没有机械接触，磨损程度降到了，从而确保精度始终保持稳定。

由于制造结构的不同，空气主轴旋转时的性是天生具备的。特殊的制造技术提高了这一性，能够提供极高的旋转和轴向精度。空气主轴的设计是，能够在轴向和径向同时获得小于0.1微米TIR的旋转性。由于旋转的转子和静态支撑部分之间没有机械接触，所以没有磨损产生，从而确保精度始终保持稳定——制造商使用统计学加工控制的一个重要特性。

光波超精密气浮飞刀——动压气浮轴承

使用的润滑剂是空气;因此，小型动压气浮轴承，对于必须要求无污染的工件、或者工作环境来说，空气轴承技术是理想的。

在从空作环境中去除脂、油、和油雾后，使用空气主轴的条件将保持更加清洁。空气轴承对环境不产生反作用，因此，是无尘环境(如:磁盘驱动器制造)的理想应用产品。事实上，打印机喷墨嘴动压气浮轴承，特殊设计的西风空气主轴还能在高度真空的条件下使用，如:已经在半导体硅晶片制造方面的应用。

主轴可以运行的、典型的无尘室标准:100级，无尘环境。只需要的保养。对空气供给和冷却系统的定期检查，就是确保完全可靠性所需完成的全部工作。